最先采用燃燒法分析有機物元素組成的人當屬法國化學家拉瓦錫（Autoine Laurent Lavoisier，1743-1794），他將已稱重的有機物（如乙醇、橄欖油、蜂蠟等）試樣置于水槽中的汞面上，再將一充滿氧氣的鐘罩扣在水槽中，加熱使有機物完全燃燒，冷凝后檢測生成H2O的質量、氧氣和CO2混合氣的體積以及用苛性堿吸收CO2后剩余O2的體積，即可推算出該有機物中含碳、氫、氧的質量分數。
此后，有道爾頓、蓋-呂薩克、貝采里烏斯、維勒等科學家依據類似的原理先后對實驗裝置和所用的氧化劑作了一些改進，使分析結果的準確性有所提高，但仍不理想。
其燃燒管是一根很長的硬質玻璃管，以炭火（或煤氣燈）加熱，管內采用氧化銅作氧化劑，反應產生的水分和CO2分別用裝有無水氯化鈣（或高氯酸鎂）和堿石灰的干燥管吸收，然后稱重，即可得出該有機物中所含碳、氫、氧三種元素含量的測定結果。李比希的這套分析儀很快就成為常規分析儀，被廣泛采納。對該裝置略作改動，還可檢測出有機物中氮元素的含量等。