牛津儀器與著名的臺灣工業技術研究院合作

　　牛津儀器公司和臺灣工業技術研究院很高興地宣布剛剛簽署的項目研究合作協議。該協議是基于牛津儀器公司向工業技術研究院提供一個HBLED相關程序研究中心，并配備自己的程序工程師。這將讓工業技術研究院和牛津儀器在遠東地區的廣大客戶受益。工業技術研究院是一個跨多個工業技術領域的應用研究機構，自1973年成立以來，工業技術研究院為了提高國內工業技術，一直致力于工業研發。

　　作為在蝕刻、沉積和生長系統的領先者，牛津儀器很快將會為工業技術研究院在最先進的無塵室里安裝更多的設備。牛津儀器的程序工程師將使用這些和研究所已選定的設備做演示，并為遠東客戶的設備性能提供支持。

　　這將更有效地擴大牛津儀器的研究能力，使得牛津儀器具有更廣泛的方法，更有效率地為亞洲客戶服務。牛津儀器已經在工業技術研究院安裝了多個設備，包括PlasmaPro System100多群集系統結合PECVD反應室、RIE反應離子刻蝕和ALD原子層沉積，PlasmaPro System100 ICP380等離子蝕刻工具和PlasmaPro System80Plus PECVD等離子體增強沉積設備，所有這些設備已被用于推進研究。

　　PlasmaPro NGP1000 PECVD，一PlasmaProa NGPa1000蝕刻，以及PlasmaPro System133 ICP380和附件，這三種設備已安裝在專用的牛津儀器光電實驗室，為下一個階段做準備。

　　工業技術研究院副院長Shing-Yuan Tsai博士評論："在材料化學技術和納米技術領域，工業技術研究院與臺灣及世界各地的著名企業合作，發展和促進高增值產業的建立和納米技術應用于傳統產業。我們和牛津儀器的合作清楚地表明，我們的研究水平和設備是世界一流的，兩個機構間合作是互利的。"

　　牛津儀器等離子技術部亞洲區銷售總監Jeffrey Seah非常認可此項合作，他說："牛津儀器公司作為蝕刻、沉積及生長設備的世界領先者，和工業技術研究院已建立合作關系，成功地為工業技術研究院無塵室安裝了先進設備。牛津儀器公司的主要目標之一是追求負責任地發展和通過科技更深入地了解世界，此次與如此著名的研究機構合作項目正是為實現這一目標。"

　　關于牛津

　　牛津儀器公司于1959年創建于英國牛津，現已成為世界領先的科學儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設備、超導超低溫產品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及全球的分公司或辦事處。

　　具體產品信息請參見牛津儀器公司中文網站及英文網站：www.oichina.cn與www.oxford-instruments.com。

　　牛津儀器(上海)有限公司 電話: (021) 64908280 傳真: (021) 64904042

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