電子顯微鏡的分辨本領由于受到電子透鏡球差的限制，人們力圖像光學透鏡那樣來減少或消除球差。但是，早在1936年Scherzer就指出，對于常用的無空間電荷且不隨時間變化的旋轉對稱電子透鏡，球差恒為正值。在40年代由于兼顧電子物鏡的衍射和球差，電子顯微鏡的理論分辨本領約為0.5nm。校正電子透鏡的主要像差是人們長期追求的目標。經過50多年的努力，1990年Rose提出用六極校正器校正透鏡像差得到無像差電子光學系統的方法。最近在CM200ST場發射槍200kV透射電鏡上增加了這種六極校正器，研制成世界上第一臺像差校正電子顯微鏡。電鏡的高度僅提高了24cm，而并不影響其它性能。分辨本領由0.24nm提高到0.14nm。在這臺像差校正電子顯微鏡上球差系數減少至0.05mm(50μm)時拍攝到了GaAs〈110〉取向的啞鈴狀結構像，點間距為0.14nm。