濕度傳感器 濕度是空氣環境的一個重要指標，空氣的濕度與人體蒸發熱之間有著密切關系，高溫高濕時，由于人體水分蒸發困難而感到悶熱，低溫高濕時，人體散熱過程劇烈，容易引起感冒和凍傷。人體最適宜的氣溫是18~22℃，相對濕度為35%～65%RH。 在環境與衛生監測中，常用于濕球溫濕度計、手搖濕溫度計和通風濕溫度計等儀器測定空氣濕度。近年來，大量文獻報道用傳感器測定空氣濕度。用于測定相對濕度的涂覆壓電石英晶體用傳感器,通過光刻和化學蝕刻技術制成小型石英奪電晶體,在AT 切割的10MHZ石英晶體上涂有4種物質,對濕度具有較高的質量敏感性.該晶體是振蕩電路中的共振器,其頻率隨質量變化,選擇適當涂層,該傳感器可用于測定不同氣體的相對濕度.該傳感器的靈敏度、響應線性、響應時間、選擇性、滯后現象和使用壽命等取決于涂層化學物質的性質。
2、氧化氮傳感器 氧化氮是氮的各種氧化物所組成的氣體混合物的總稱，常以NOX表示。在氧化氮中，不同形式的氧化氮化學穩定性不同，空氣中常風的是化學性質相對穩定的一氧化氮和二氧化氮，它們在衛生學上的意義顯得較其它形式氧化氮更為重要。在環境分析中，氧化氮一般指一氧化氮二氧化氮。 我國監測氧化氮的標準方法是鹽酸萘乙二胺比色法，方法靈敏度為0.25ug/5ml,方法轉換系數受吸收液組成、二氧化氮濃度、采氣速度、吸收管結構、共存離子及溫度等多種因素的影響，目前未完全統一。傳感器測定是近年發展起來的新方法。 文獻報道，用交指型柵極電極場效應晶體管的微電子集成電路與化學活性電子束蒸鍍酞花青銅薄膜相結合，獲得了新型氣體敏感微傳感器，可選擇性檢測mg/m3 級二氧化氮和二惜內基甲基膦酸鹽(DIMP)。