電子式水平儀，它用來測量高精度的工具機，如NC車床、銑床、切削加工機、三次元量床等床面，其靈敏度非常高，若以測量時可左右偏移25刻度計算，測量工件只在一定的傾斜范圍內均可測量。電子水平儀的主要原理有電感式和電容式等兩種。根據測量方向不同還可分為一維和二維電子水平儀。電子水平儀的測量部分主要由殼體、測微裝置和電極水泡式傳感器組成。電子水泡式傳感器與一般水平儀的水準器的作用相似，但結構不同。
