現在電子探針均與計算機聯機，可以連續自動進行多種方法分析，并自動進行數據處理 和數據分析，對含 10 個元素以下的樣品定性、定量分析，新型電子探針在 30min 左右可以 完成，如果用 EDS 進行定性、定量分析，幾 min 即可完成。對表面不平的大樣品進行元素 面分析時，現在可以自動聚焦分析。 電子探針一般不損壞樣品，樣品分析后，可以完好保存或繼續進行其它方面的分析測試， 這對于文物、古陶瓷、古硬幣及犯罪證據等的稀有樣品分析尤為重要。
