原理：利用聚焦電子束（電子探測針）照射試樣表面待測的微小區域，從而激發試樣中元素產生不同波長（或能量）的特征X射線。用X射線譜儀探測這些X射線，得到X射線譜。根據特征X射線的波長（或能量）進行元素定性分析；根據特征X射線的強度進行元素的定量分析。
適合分析材料:金屬及合金，高分子材料、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析
應用領域：地質，冶金，石油，化工，礦產，農業等領域
注意事項：樣品要有良好的導電、導熱性，表面平整度等
特點：波譜儀分析的元素范圍廣、探測極限小、分辨率高，適用于精確的定量分析。 能譜儀分析速度快，可用較小的束流和微細的電子束，對試樣表面要求不如波譜儀那樣嚴格，因此特別適合于與掃描電子顯微鏡配合使用。