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　　電子探針X射線微區分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦極細的電子束轟擊固體的表面，并根據微區內所發射出X射線的波長（ 或能量）和強度進行定性和定量分析的方法。主要功能是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。