電子探針可以對試樣中微小區域微米的化學組成進行定性或定量分析,除做微區成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。電子探針技術具有操作迅速簡便、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點,在冶金、地質、土壤、生物、醫學、考古以及其他領域中得到日益廣泛應用,是土壤和礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。