背散射電子是指入射電子與樣品相互作用(彈性和非
彈性散射)之后，再次逸出樣品表面的高能電子，其能量接近于入射電子能量(E。)。背散射電子能量大于50eV，小于等于入射電子能量。背射電子的產額隨樣品的原子序數增大而增加，所以背散射電子信號的強度與樣品的化學組成有關，即與組成樣品的各元素平均原子序數有關。樣品平均原子序數越大，產生的背散射電子數目越多，圖像的亮度越大，反之亦然。背散射電子也反映樣品形貌信息。
