電子顯微技術是一種利用高分辨率和放大倍率的電子顯微鏡（SEM）對材料進行特征分析如形貌觀察、能量色散X射線分析等分析的技術。 電子顯微技術在計量分析測定、立體觀察、圖像分析、電子工業、缺陷探測等領域都有著廣泛的應用。
簡介
20世紀重大發明之一。
1986年諾貝爾物理學獎授予了電子顯微鏡的發明者盧斯卡和掃描隧道顯微鏡的發明者賓尼格和羅勒，他們的發明使科學家有了一雙能看見原子的眼睛，為人類探索微觀世界做出了巨大貢獻。
歷史
早在17世紀，人類首次通過玻璃透鏡觀察到了水中的微生物。到了19世紀，光學顯微鏡的應用使醫學和生物學取得了很大進步，但由于光波波長對分辨率的限制，光學顯微鏡的放大倍數還不能滿足科學家探索微觀世界的需要。
1931年，盧斯卡和諾爾根據磁場可以會聚電子束這一原理發明了世界上第一臺電子顯微鏡。電子顯微鏡的原理同光學顯微鏡相同。光學顯微鏡通常是利用電燈作為光源。電燈發出的光波被聚光器匯聚到透明物體上，然后經過物鏡等一系列透鏡形成放大的圖像。而電子顯微鏡是用電子束而非可見光來成像的。簡單說電子的行為同光波相似，但是其波長較光波的波長小幾百倍，這就使電子顯微鏡的分辨率大大提高。在電子顯微鏡中，磁場的作用類似于光學顯微鏡中的透鏡。隨后，科學家又發明了掃描電子顯微鏡。它主要是用來研究固體表面形貌的，它可以得到固體表面的三維效果圖像。