電子激發X熒光分析的介紹

　　電子激發X熒光分析的軔致輻射本底比PIXE高二個量級以上，因此分析靈敏度低得多。但是，用聚焦的電子束激發樣品表面1微米的區域,使產生元素的特征X 射線，可以觀察樣品表面組成的局部變化。用這種方法能測定合金、礦物、陶瓷等樣品中的夾雜物和析出物，決定合金元素的局部富集區等。