微電子技術和計算機技術的迅速發展，給傳統的測繪技術和測繪儀器帶來了很大的沖擊，使測繪儀器的發展產生了革命性的變化，電子經緯儀也是其中之一。 在國外電子經緯儀的研究和試制大約要追溯到六十年代末和七十年代初，美國K&E公司試制了第一臺數字經緯儀，其后又有一些經緯儀生產廠家也試制出電子經緯儀樣機。但是，由于當時技術條件等原因的限制，電子經緯儀的性能與傳統的光學經緯儀相比并沒有太多的改進，如無計算能力等。而且體積又比較龐大，耗電多，成本高，價格十分昂貴，超出光學經緯儀幾倍甚至幾十倍的價格。 但是，電子經緯儀的出現和推廣正如其它電子產品一樣，具有強大的生命力。
進入八九十年代以后，隨著微電子技術和計算機技術的日趨完善，以及元器件集成度的大大提高，情況發生了很大的變化。從整機來看，電子經緯儀的體積和重量與光學經緯儀相差不多，用電量減少，成本大幅度下降，價格降低。目前在日本一臺電子經緯儀的價格還略低于光學經緯儀。但電子經緯儀的性能及功能卻大大增強。由于電子經緯儀采用了電子細分或光電細分技術以及碼盤技術，縮小了電子度盤的尺寸，簡化了生產工藝，提高了測量精度。電子經緯儀只需通過簡單的按鍵操作，就可自動地進行所需的測量和計算，并將數據清晰地顯示出來。通過機內的傳感器系統可自動地修正和補償各軸系誤差，提高測量精度。同時還配有測距聯用接口和聯用功能，以及數據輸出接口，可與紅外測距機聯用，構成組合式電子速測儀，一次觀測就可獲得所要的距離角度以及歸算結果等測定值。而且測量值可通過數據輸出接口自動地記錄到電子手薄上，既簡化了作業又減少了讀數誤差和記錄誤差，從而實現了野外測量到室內數據處理過程的自動化，減輕了體力勞動，縮短了測量時間，深受使用者歡迎。 在我國，總體情況來看，電子經緯儀在我國的發展還處于初期，許多單位和科研機構已經研制和生產經緯儀，采用了當前電子經緯儀中使用的先進技術，研制的各類電子經緯儀精度也大有發展，但是由于種種原因，總體上還是比西方國家，特別是日本、瑞士等經緯儀強國還有很大差距。主要在于精度和自動化程度上仍有待于加強。