電子透鏡有靜電透鏡、磁透鏡和復合電子透鏡等三種類型(或分為靜電透鏡、磁透鏡兩種類型)。
在一般的電子束曝光系統中,除了電子槍外,基本上都采用磁透鏡。但是,在電子束微矩陣曝光以及新型電子顯示屏等系統中,靜電透鏡仍然有著一定的應用。