高頻電發生器和感應圈提供電磁能量。矩管由三個同心石英管組成，分別通入載氣、冷卻氣、輔助氣（均為氬氣）；當用高頻點火裝置發生火花后，形成等離子體焰矩，接受由載氣帶來的氣溶膠試樣進行原子化、電離、激發。進樣器為利用氣流提升和分散試樣的霧化器，霧化后的試樣送入等離子矩的載氣流。控制和檢測系統由光電轉換及測量部件、微型計算機和指示記錄器件組成。
