簡稱EDXRF。電磁輻射激發一般用X射線管或Fe、Pu、Cd、、Co等放射性同位素作激發源。這時它的探測極限雖不及PIXE，但制樣簡便，常常可以直接分析原始樣品，而且既能分析低含量樣品，又能分析高含量樣品，因此應用更為廣泛。X射線在物質中的穿透能力較大,故能測量較厚樣品中的元素平均含量。當使用放射性同位素作激發源時能夠制成便攜式的儀器，不僅可用于實驗室，還可以用于工廠、野外地質和礦山。當使用電子同步加速器或電子儲存環發出的高強度偏振輻射作激發源時，探測極限比PIXE好幾個數量級。若再使用晶體單色器，還可以制成同步輻射X射線微探針，進行微區分析。