電鏡附件的原理及其應用——波譜儀

波譜儀原理及應用

波譜儀(即X射線波長色散譜儀,簡稱WDS)，用作微區成分分析。成分分析的原理可用λ=(d/R)L公式表示。λ是電子束激發試樣時產生的X射線波長,跟元素有關;d是分光晶體的面間距,為已知數;R是波譜儀聚焦園的半徑,為已知數;L是X射線發射源與分光晶體之間的距離。對于不同的L則有不同的X射線波長,根據X射線波長就可得知是什么元素。因此,波譜儀是通過機械裝置的運動改變距離L來實現成分分析。但波譜儀對分析條件要求苛刻,如電子束流要大于0.1μA,樣品要求非常平整并且只能水平放置,準確的成分定量分析還需要相關的標準樣品并在相同工作條件下作對比分析,對主機的穩定度也要求極高,操作方面也較為復雜，工作效率很低，但分析精度方面比能譜儀精度更高，可以做成分的定量分析。