在利用掃描電鏡分析非導電樣品時，因為樣品的不導電性，會在樣品表面累積電離子，因此在成像過程中會產生大量的放電現象，嚴重影響圖像質量。因此在觀察非導體時一般都要事先用真空鍍膜機或離子濺射儀在試樣表面上蒸涂（沉積）一層重金屬導電膜（我們一般是在試樣表面蒸涂一層金膜），這樣既可以消除試樣荷電現象，又可以增加試樣表面導電導熱性，減少電子束造成的試樣（如高分子及生物試樣）損傷、提高二次電子發射率。利用離子濺射儀制備試樣比真空鍍膜機制備表面導電膜能收到更好的效果。
