真空光電直讀光譜儀的用途一般是為了做鋼鐵的爐前快速分析，用這種儀器不僅可以分析鋼鐵中的合金元素，同時也可以分析它們中的碳、磷、硫三個元素。由于分析碳、磷、硫要用位于200nm以下波段范圍的靈敏線（例如，用碳-193nm, 磷-178. 2nm及硫-180. 73nm等譜線）而在此波段的輻射將被空氣所吸收。因此，必須將光電直讀光譜儀光學系統置于真空之中,才能進行這些元素的分析。目前，國內外生產的光電直讀光譜儀多數為真空光電直讀光譜儀，少數非真空型的光電直讀光譜儀只分析200nm以上波段范圍的光譜線，主要是對有色金屬和其合金的分析。