真空泵的使用要點

真空泵使用要點
1.真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學品、溶劑及粉末等。如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
2.進氣溫度必須低于50℃，否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。 
3.抽含有水蒸汽的氣體時，要打開氣鎮閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會縮短氣鎮閥壽命。 
4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環境中工作，否則會有爆炸、火災等危險。 
5.不要由一兩個人移動此泵。此由專業人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護和檢查，否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。 
6.不要繼續使用已經損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至被抽系統損壞等危險。 
7.檢查確定此泵安全接地。 
8.此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，zui高可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。 
9.必須安裝電機保護開關。 
10.不要刮碰進氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。 
11.在進氣口處裝截止閥。真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。
12.排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內。