真空泵的真空度一般為10-4zui高要求可到10-8毫米汞柱甚至以上，所以真空泵油的質量重點是應具有極低的蒸氣壓。也即要求潤滑油的蒸發性極小，數石蠟基窄餾份潤滑油較為理想。又因真空泵容易吸入水分所以潤滑油應具極好的水分離性。對于用于抽氣的，含雜質和污物的真空泵，潤滑油還需含有清凈、浮游性添加劑，以防止在真空泵潤滑部位產生油泥、積炭及污垢。
理想的真空泵油應具有高的粘度指數、低的飽和蒸汽壓、好的油水分離性和氧化安定性，好的抽氣速率和極限真空。真空泵油的理化性能檢測項目有：運動粘度（40℃）、粘度指數、閃點、抗乳化度、抗泡性、氧化安定性、飽和蒸汽壓、極限全壓力和極限分壓力。根據質量等級設定的各項理化性能檢測項目的質量指標可查見于石油產品行業標準sh/t0528-92。