1.經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。
2.經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常。
3.換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。
4.一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。
5.有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。
6.重新裝配后應進行試運行，一般須空運轉2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發物，待運轉正常后，再投入正常工作。
7.檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。
8.向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。
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測量氣缸的圓度與圓柱度，根據其磨損程度確定鏜缸或更換氣缸的圓度和圓柱度應符合規定的要求氣缸內表面無裂紋、砂眼、傷痕、溝槽等缺陷鏜缸后氣缸直徑增大不得超過原來尺寸的2%，缸壁減薄不得超過原壁厚的1/12......
包括中修內容(2)解體檢查，測量氣缸的磨損量，進行修理或更換。(3)修理或更換偏心輪、偏心圈。(4)修理或更換曲軸、連桿。(5)檢查、修理或更換十字頭、活塞、活塞桿。......
(1)包括小修內容。(2)檢查、修理更換十字頭銷及連桿襯套。(3)檢查、更換氣閥拉桿、接頸襯套、接頸銷子、氣閥座。(4)檢查、更換活塞環、活塞桿。(5)測量并調整各部間隙。(6)檢修電機。......
(l)檢查、緊固各部螺栓。(2)清理氣缸水套及閥室污垢。(3)檢查、更換活塞桿填料、氣閥桿填料、閥片及彈簧，調整氣閥位置。(4)調整偏心圈與偏心輪、連桿瓦與曲柄頸的間隙。(5)檢查活塞，緊固螺母，調整......