真空等離子清洗的優勢
等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經在眾多領域廣泛使用。 與傳統的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV 清洗等，具有以下優點：
（A）處理溫度低
處理溫度可以低至 80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。
（B）處理全程無污染
等離子清洗機本身是很環保的設備，不產生任何污染，處理過程也不產生任何污染。
（C）處理效果穩定
等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。
（D）可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。
等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成：控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣
體系統、以及真空泵系統。
（A）控制系統： 控制系統的功能在于控制整個設備的運行，包括人機界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采 用全自動控制系統的真空等離子清洗，可實現多種模式多種程序對清洗設備進行控制，滿足 不同客戶的需求。
（B）激勵電源系統：
激勵電源主要有三類：40KHz 的中頻激勵電源，13.56MHz 的射頻激勵電源，2.45GHz 的 微波激勵電源。目前業界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應用場合不同。
（C）真空腔體： 真空腔體主要是分為三種材質的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根 據用戶的不同需求，可實現不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產能。
工藝氣體包括流量計、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、
氮氣、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產品表面。
（E）真空泵： 真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級旋片泵，根據用戶所采用的腔體體積、 工作效率、環境要求來制定真空泵的方案。