硅三極管微波振蕩器是微波通信和測量中十分重要的部件，它的主要特點是調頻噪聲與相位噪聲低、頻率溫度穩定性高，其成就可大致分兩個方面，即高性能三極管介質諧振振蕩器（DRO）和超小型的微波單片集成電路壓控振蕩器（MMIC VCO）。
（1）高性能三極管DRO：在L~S 波段，前期發展起來的三極管與微帶線混合集成的所謂固態微波源，適應了當時設備減體減重的迫切需要，蓬勃發展起來，甚至今天還在使用著。但是這種振蕩器的微帶諧振器品質因數低，以至在不太寬溫度范圍內（-10~55℃），頻率穩定度大致只能達到±5×10-3，即便經溫度補償，也不過在大約 ±2×10-3~±5×10-4范圍。
高Q介質諧振蕩器（DR）的出現，促進了微帶線混合集成微波振蕩器的發展，使其主要性能指標有較大的提高。近年來已經達到比較高的水平。在-5~85℃寬溫度范圍內，頻率溫度穩定性可達到±5×10-3~ ±1×10-5。與FET管微波振蕩源相比，相位噪聲也是最低的。例如在10GHz，10kHz頻偏下，相位噪聲可達到-120dBc/Hz，在100kHz頻偏下，可達-100~110dBc/Hz，比穩定的FET振蕩器的相位噪聲要好5~10dB。
這類微波振蕩器將隨著HBT的發展，不斷向更高的頻率（如毫米波）方向發展，形式多樣、性能優良、價格低廉，在軍民產品中都有較強的生命力。
（2）MMIC VCO超小型微波源：第二個發展成就是超小型微波振蕩器方面。MMIC VCO的結構特點是由單片集成電路結合改進型的帶狀線腔體及采用CAD的溫度補償電路而組成，屬微組裝產品。其性能為超小型，電參數指標比較好，可靠性高，一致性好，便于大規模系列化生產，因此價格低廉。在無繩電話等一系列民用產品中普遍被采用。
MMIC VCO的又一應用是構成小型、高穩定度的微波鎖相振蕩器。將晶體標準源、鑒相器、壓控振蕩器等整個鎖相環路混合集成為一整體。一體化的恒溫措施，或數字環路控制，使鎖相源的主要性能指標之一的長期穩定度達±2×10-8/日到±5×10-11/日。對于在S波段這樣高的指標和超小型要求，相同波段的波導腔振蕩器和介質腔振蕩器是不能勝任的，而MMIC VCO則表現出了突出的優越性。
此外，隨著HBT的發展，近來也出現了以HBT管構成的HBT VCO，它是MMIC的一種寬壓控范圍的VCO。電調電壓0.4~25V，頻率變化范圍為7~15GHz，輸出功率為9dBm，功率5~15mW，頻偏100kHz下全頻段相位噪聲小于-75dBc/Hz。連同緩沖放大級在內，制作在0.8x1mm2的片子上。此例也是硅三極管寬壓控范圍振蕩器MMCI特性的典型代表。