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  • 發布時間:2008-12-06 20:12 原文鏈接: 磁控濺射類石墨鍍層結構的Raman光譜和XPS分析

    摘要:
    利用非平衡磁控濺射離子鍍技術在單晶硅片上沉積了類石墨碳鍍層,采用X 射線衍射(XRD) 、激光Raman 光譜和X 射線光電子能譜(XPS) 等分析方法對鍍層的微觀結構進行了研究。結果表明:不同成份類石墨碳鍍層的Raman 光譜與寬化的多晶石墨Raman 光譜相似,類石墨碳鍍層是以sp2 鍵結構為主,且含有多種納米團簇顆粒的非晶鍍層,sp3 鍵含量在12~15 %范圍;根據高斯解譜計算,鍍層中碳團簇線度為1. 2 nm 以下,并隨鉻含量增高而減小;鍍層主要由單質碳、鉻及其鉻氧化物組成,并隨鉻含量增高,逐步有碳鉻化合物形成。

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