離子探針分析儀，即離子探針（Ion Probe Analyzer，IPA），又稱二次離子質譜（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用電子光學方法把惰性氣體等初級離子加速并聚焦成細小的高能離子束轟擊樣品表面，使之激發和濺射二次離子，經過加速和質譜分析，分析區域可降低到1-2μm直徑和5nm的深度，正是適合表面成分分析的功能，它是表面分析的典型手段之一。
