離子濺射儀器是一種用于交通運輸工程領域的分析儀器，于2016年06月28日啟用。
技術指標
（1）樣品室大小：直徑120mm×高度120mm；
（2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直徑57mm×厚度0.1mm；
（3）樣品臺：可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為50mm；
（4）濺射控制：程序化數字控制，最大電流40mA；
（5）濺射頭：低電壓平面磁控管；
（6）厚度監控：MTM-20高分辨厚度控制儀，可自動終止濺射過程。
