科學家用新方法研制薄膜壓電微機電系統

　　 從燒烤烤架中的火花點火器到醫學超聲成像所需的傳感器，壓電材料有著廣泛應用。微米或者更小尺度的薄膜壓電材料，為需要開展更小維度或者較低電壓操作的新應用提供了可能性。

　　來自美國賓夕法尼亞州立大學的研究人員展示了一項新技術，即通過將鋯鈦酸鉛（PZT）壓電薄膜樣本同靈活的聚合物基質相結合，研制了壓電微機電系統（MEMS）。近日，博士生Tianning Liu和合作者在美國物理聯合會所屬《應用物理雜志》上報告了這一成果。

　　“關于壓電薄膜的研究有著悠久的歷史，但基于硬式基質的薄膜存在著來自基質的局限性。”論文作者之一、賓夕法尼亞大學教授Thomas N. Jackson介紹說，最新研究為研制減少對基質依賴性的薄膜壓電材料打開了新領域。

　　研究人員在擁有氧化鋅釋放層的硅襯底上生長出多晶PZT薄膜。他們還在襯底上添加了一薄層聚酰亞胺，并在隨后利用醋酸腐蝕掉氧化鋅，從而將擁有聚亞胺層的1微米厚PZT薄膜從硅襯底中釋放出來。和在硬式基質上生長出來的薄膜相比，聚酰亞胺上的PZT薄膜擁有增強的材料屬性，但同時保持著靈活性。即便如此，Liu表示，在薄膜MEMS裝置競爭過塊體壓電系統之前，仍有很多工作要做。