(1) 設備和測量簡單 ；
(2) 可同時提供多種物理和化學信息 ；
(3) 分辨率高 ,靈敏度高 ,抗擾能力強 ,對試樣無破壞 ；
(4) 所研究的對象可以是導體、半導體或絕緣體 ,試樣可以是晶態或非晶態的材料 ,薄膜或固體的表層 ,也可以是粉末、超細小顆粒 ，甚至是冷凍的溶液，范圍之廣是少見的。
