等離子體去膠機，是在（RIE）反應離子刻蝕機的基礎上簡化改進而來，為小型等離子去膠機，具有體積小，性能優良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復性好、價格低、使用方便等特點。是各電子器件企業及科研單位、大專院校的機型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝，同時有RIE刻蝕功能，可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國外。
整機基本配置和性能：
1．激勵電源：13.56MHz 500W；帶匹配器和功率計各1臺（自動匹配可選），帶定時器1臺。
2．真空系統：8升/秒機械泵1臺。帶真空計。
3．載片臺尺寸：Ф220mm ，一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
4．氣路系統：2路進氣；2個質量流量計，2路顯示。
5．手動控制（可以選擇配置工藝過程自動控制）。
6．均勻性：±5% （4英寸內）
一、項目編號：DFA-BFJL-GP-20261094（招標文件編號：DFA-BFJL-GP-20261094）二、項目名稱：中國科學院長春應用化學研究所電感耦合等離子體質譜儀采購項目三、中標（成交）......
近日，中國科學院合肥物質科學研究院聯合中國科學技術大學，在三維物理研究方面取得進展。研究通過施加僅占平衡磁場0.1%的小幅度共磁擾動，實現了兼具內部輸運壘和邊界局域模抑制的新等離子體約束模式。研究通過......
中國科學院“燃燒等離子體”國際科學計劃項目24日正式啟動，面向全球開放包括緊湊型聚變能實驗裝置BEST在內的多個領先的聚變能實驗裝置及平臺，協同攻關科學難題，攜手點亮人類清潔能源的未來。根據國際科學計......
記者從中國科學院合肥物質科學研究院等離子體物理研究所了解到，由該所牽頭聯合合肥國際應用超導中心、合肥綜合性國家科學中心能源研究院及清華大學共同研制的全超導磁體，成功產生35.10萬高斯的穩態強磁場。實......
磁重聯是等離子體中磁能快速釋放和粒子加熱加速的關鍵過程，廣泛存在于太陽耀斑、地球磁尾、黑洞噴流、伽馬暴乃至聚變裝置等多種等離子體環境中。當磁場強度達到極端水平時，電子在重聯過程中將進入輻射主導區域，此......
理論預言，在宇宙大爆炸后百萬分之一秒內，核子尚未形成，物質處于由自由夸克和膠子組成的熾熱“濃湯”狀態。這種物質形態被稱為夸克膠子等離子體。尋找夸克膠子等離子體存在的證據，對探討宇宙演化具有重要意義。長......
磁重聯是等離子體中磁能快速釋放和粒子加熱加速的關鍵過程，廣泛存在于太陽耀斑、地球磁尾、黑洞噴流、伽馬暴乃至聚變裝置等多種等離子體環境中。當磁場強度達到極端水平（約1010G）時，電子在重聯過程中將不可......
南京大學多接收等離子體質譜儀招標項目的潛在投標人應在南京市鼓樓區中山路99號12樓1212室獲取招標文件，并于2025年07月28日09點30分（北京時間）前遞交投標文件。一、項目基本情況項目編號：G......
4月30日，上海市疾病預防控制中心（以下簡稱“上海疾控”）發布了兩臺ICP-MS的采購項目結果公告，兩臺產品分別為：液相色譜-電感耦合等離子體質譜聯用儀（LC-ICPMS），和全自動消解ICPMS，中......
2月22日，由中國電工技術學會主辦，深圳理工大學、中國科學院深圳先進技術研究院、深圳市光明區人民醫院、國家高性能醫療器械創新中心聯合承辦的第二屆全國等離子體生物醫學學術會議在深圳光明天安云谷國際會議中......