原理：樣品由載氣（氬）帶入霧化系統進行霧化，以氣溶膠形式進入等離子體的軸向通道，在高溫和惰性氣氛中被充分蒸發、原子化、電離和激發，發射出所含元素的特征譜線。根據特征譜線的存在與否，鑒別樣品中是否含有某種元素（定性分析），根據特征譜線強度確定樣品中相應元素的含量（定量分析）。
元素分析范圍 3號鋰(Li)-92號鈾(U)
分析特點：主要用于金屬元素的微量/痕量分析，不太適合鹵素及碳氫氧氮等元素的測試；精確度高，檢出限可達ppm甚至ppb級別；除少量的水樣液體可以直接進樣外，其他樣品一般都要進行前處理，即將樣品溶解成無機稀酸溶液；可進行多元素同時測定。