等離子發射光譜儀能量作用于樣品，當某一能量施加到一個原子上，一些電子就改變其軌道，當這些電子返回到原來的軌道時，以一定波長的光形式恢復到原來的狀態，一個含有幾種不同元素的樣品，將產生有每種元素特定的波長組成的光，通過用一色散系統將這些波長分開，能測定存在哪一種元素和這些波長中每一種波長的強度，這些強度和相應的元素的濃度成一定的函數關系。
還利用電子接收系統測量這種發光強度，再用計算機處理這些信息，這樣就可以測出相關元素的濃度。該儀器可以同時測定元素周期表中73中元素，每個元素的波長可以任意選擇，減少了元素之間的相互干擾，液體進樣適用于金屬材料、食品、醫藥、環保等領域中低含量及中等含量的化學元素的快速定量或半定量分析。