ICP光源是一種光薄的光源，自吸現象小，所以ICP-AES法校正曲線的線性范圍可達5~6個數量級,有的儀器甚至可以達到7～8個數量級，即可以同時測定0.00n%～n0%的含量。在大多數情況下，元素濃度與測量信號呈簡單的線性。既可測低濃度成分（低于mg/L），又可同時測高濃度成分（幾百或數千mg/L）。是充分發揮ICP-AES多元素同時測定能力的一個非常有價值的分析特性。
