①離子束流強
即能夠獲得的有用離子束的等效電流強度，用電流單位A或mA表示。
②有用離子百分比
即有用離子束占總離子束的百分比。一般來說，離子源給出的總離子束包括單電荷離子、多電荷離子、各種分子離子和雜質元素離子等的離子束。
③能散度
由于離子的熱運動和引出地點的不同，使得離子源給出的離子束的能量對要求的單一能量有一定離散，一般希望能散度盡量小，在高精度的離子束應用中尤其是這樣。
④束的聚焦性能
以離子束的截面和張角表示。聚焦不好的離子束在傳輸過程中會使離子大量丟失。獲得良好聚焦特性的離子束的最終障礙是束中離子之間的靜電排斥力，為了克服這一障礙，應盡早使離子獲得較高能量。
⑤離子源的效率
以離子束形式引出的工作物質占總消耗的工作物質的比例。
⑥工作壽命
離子源一次安裝以后使用的時間。