導軌直線性系統精度：ㄑ0.2μm / 60 mm
測量長度：ㄑ100mm
Y 量 程：4mm
電感傳感器：1 / 4096
光 柵 尺：X向分辨率1μm，全長誤差±1.5μm
可測零件直徑：內圈ㄑ300 mm，外圈可較大
氣源壓力：ㄒ0.45Mpa
環境要求：溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%
功率需求：約400W；交流220V±10%，50Hz
