晶體結構可以通過高分辨率透射電子顯微鏡來研究,這種技術也被稱為相襯顯微技術。當使用場發射電子源的時候,觀測圖像通過由電子與樣品相互作用導致的電子波相位的差別重構得出。然而由于圖像還依賴于射在屏幕上的電子的數量,對相襯圖像的識別更加復雜。
非晶樣品透射電子顯微圖象襯度是由于樣品不同微區間存在的原子序數或厚度的差異而形成的,即質量厚度襯度(質量厚度定義為試樣下表面單位面積以上柱體中的質量),也叫質厚襯度。質厚襯度適用于對復型膜試樣電子圖象作出解釋。質量厚度數值較大的,對電子的吸收散射作用強,使電子散射到光欄以外的要多,對應較安的襯度。質量厚度數值小的,對應較亮的襯度。