可測量元素：原子序數22(Ti)～83(Bi)
X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗
濾波器：一次濾波器：Mo 二次濾波器：Co (自動切換)
檢測器：比例計數管
準直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能
樣品圖像對焦方式：激光自動對焦
樣品觀察：彩色CCD攝像頭倍率光學器 鹵素燈照明
樣品平臺大小及承重： SFT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
SFT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
SFT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
重量：SFT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)
SFT9355:130kg(不含電腦)
修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
測量報告書制作：配備MS-EXCEL? MS-WORD?(使用宏支持自動制作測量報告書)
測量能譜與樣品圖像保存