高精度XYZ三維自動平臺配有光柵尺反饋控制系統，可實現自動定位及點、線、面掃描和共焦深度的掃描，確保精度和高重復性。掃描范圍X≥100mm，Y≥70mm，精度≤100nm。
1) 實時聚焦模塊。可利用Wire控制軟件實現自動聚焦功能，適用于表面具有復雜形貌的樣品，且測試過程中可修正聚焦位置。
2) 全套Wire5.0軟件包。包含快速數據采集、處理等功能模塊。內置控制及數據處理軟件，可方便快速地處理數據，進行實時數據分析和成像。
3) 大面積高速掃描拉曼成像可以獲得拉曼信號特定范圍強度的綜合信息，成分含量分布信息的高分辨圖像以及3D拉曼掃描成像。
3.2.7 電化學反應池
電化學反應池，可直接放置于拉曼光譜儀自動樣品臺進行原位測試，可與光學顯微鏡與拉曼光譜儀合并使用。