可實現的功能：單色化雙陽極XPS、微區XPS、離子散射譜ISS、反射電子能量損失譜REELS、紫外光電子能譜UPS、氬復合團簇離子槍刻蝕、角分辨ARXPS、平行成像XPS、原位X射線熒光光譜EDXRF分析，并能進行樣品臺加熱冷卻、超高真空環境下的測量。
能量掃描范圍0～5000eV；通過能范圍不小于1～400eV，并可連續調節，調節步長不大于1eV。
微聚焦單色化Al Kα/Ag Lα X射線源，束斑尺寸可在20μm～900μm之間連續可調，調節步長小于10μm；最優能量分辨率：半高寬優于0.43 eV(Ag3d5/2)。
可實現平行成像，空間分辨率≤1μm的化學態成像以及6μm的微區回溯成譜。
深度剖析離子槍：離子源：Ar+源；單離子模式：刻蝕能量0.1～4keV連續可調；團簇模式：刻蝕能量2keV～8 keV，團簇中離子數目75～2000個，每個離子能量最低可達1eV；最大束流：最大束流≥3μA (傳統模式)，≥20nA（離子簇模式），束斑大小≤500μm。
樣品臺：5軸樣品臺，X方向不小于50mm，Y方向不小于20mm，Z方向不小于12mm，以水平方向為軸至少在-90o～+90o范圍內可傾斜。
制備室及分析室樣品臺帶有加熱冷卻功能，溫度范圍為170K-1000K。
超高真空監測裝置：可實現大氣至10-8Pa范圍的連續真空測量。
配有同軸反射電子能量損失譜，可滿足對氫元素的定性定量分析；通過X射線熒光光譜儀，可原位的實現樣品體相元素成分及表面元素成分分析測試。
數據庫：包括完整的XPS和ISS數據庫。