氯硅烷能與含活潑氫的化合物進行激烈反應，如與水、醇、酚、硅醇、有機酸等，放出氯化氫。
與有機金屬化合物反應，氯原子被相應的有機基取代，生成有機氯硅烷或有機硅烷。
用作硅外延片生產過程中的硅源及制備有機氯硅烷的原料。
此外，四氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高純度硅的的中間產物。分餾後，可以獲得99.999999999%（十一個9）純度的硅。
