1846年法國化學家J.J.Ebelmen用SiCl4與乙醇混合后生成四乙氧基硅烷（TEOS），發現在濕空氣中發生水解并形成了凝膠。
20世紀30年代W.Geffcken證實用金屬醇鹽的水解和凝膠化可以制備氧化物薄膜。
1971年德國H.Dislich報道了通過金屬醇鹽水解制備了SiO2-B2O-Al2O3-Na2O-K2O多組分玻璃。
1975年B.E.Yoldas和M.Yamane制得整塊陶瓷材料及多孔透明氧化鋁薄膜。
80年代以來，在玻璃、氧化物涂層、功能陶瓷粉料以及傳統方法難以制得的復合氧化物材料得到成功應用。