電子束檢測其檢測方式，是利用電子束掃描待測元件，得到二次電子成像的影像，根據影像的灰階值高低，以電腦視覺比對辨識，找出圖像中的異常點，視為電性缺陷，例如，在正電位模式下，亮點顯示待測元件為短路或漏電，暗點則為斷路。
其工作原理是利用電子束直射待測元件，大量的電子瞬間累積于元件中，改變了元件的表面電位(surface potentail)，當表面電位大于0 (相對于元件的基板(substrate)電位)，稱為正電位模式 (Positive model)，反之，稱為負電位模式 (Negative model)。