1、由氧化鈣和二氧化硅在高溫下煅燒熔融而成。
2、將純石英與碳酸鈣按CaO/SiO2為1∶1（摩爾比）混合，放入鉑坩堝中于1500℃以上充分熔融后，將鉑坩堝在水中急冷。將制得的偏硅酸鈣玻璃體放入鉑坩堝中，加熱至800～1000℃，即開始結晶而生成β-CaSiO3。
3、利用α-CaSiO3的冷卻進行制備。在純固態下α-CaSiO3向β-CaSiO3轉移是困難的，即使相當慢的冷卻，也很難使轉化進行。因此，往α-CaSiO3中加入其重量幾分之一左右的偏釩酸鈣，促進轉化。
