在測定過程中，氣體壓力改變會影響到原子化效率和基態原子的分布；另外，毛細管阻塞、廢液排泄不暢，會使溶液提升量和霧化效率受到影響；以及電壓變化甚至環境溫度等諸多因素都會使靈敏度發生漂移，其校正方法可每測10個樣品加測一個與樣品組成接近的質控樣，并根據所用儀器的新舊程度適當縮短標準化的時間間隔。
