隨著儀器技術和理論方法的發展，X射線熒光分析法的應用范同越來越廣。在物質的成分分析上，在冶金、地質、化工、機械、石油、建筑材料等工業部門，農業和醫藥衛生，以及物理、化學、生物、地學、環境、天文及考古等研究部門都得到了廣泛的應用：有效地用于測定薄膜的厚度和組成．如冶金鍍層或金屬薄片的厚度，金屬腐蝕、感光材料、磁性錄音帶薄膜厚度和組成：可用于動態分析上，測定某一體系在物理化學作用過程中組成的變化情況．如相變產生的金屬問的擴散，固體從溶液中沉淀的速度，固體在同體中的擴散和同體在溶液中溶解的速度等。
