原子發射光譜法是利用物質在熱激發或電激發下，每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析的。原子發射光譜法可對約70種元素(金屬元素及磷、硅、砷、碳、硼等非金屬元素)進行分析。在一般情況下，用于1%以下含量的組份測定，檢出限可達ppm，精密度為±10%左右，線性范圍約2個數量級。這種方法可有效地用于測量高、中、低含量的元素。
原子發射光譜分析法的工作原理:
原子發射光譜法是利用原子或 離子在一定條件下受激而發射的特征光譜來研究物質化學組成的分析方法。根據激發機理不同，原子發射光譜有3種類型：
①原子的核外光學電子在受熱能和電能激 原子發射光譜 發而發射的光譜，通常所稱的 原子發射光譜法是指以電弧、電火花和電 火焰（如ICP等）為激發光源來得到原子光譜的分析方法。以化學 火焰為激發光源來得到原子發射光譜的，專稱為 火焰光度法。
②原子核外 光學電子受到 光能激發而發射的光譜，稱為 原子熒光（見原子熒光光譜分析）。
③原子受到X射線光子或其他微觀粒子激發使內層電子電離而出現空穴，較外層的電子躍遷到空穴，同時產生次級X射線即X射線熒光（見X射線熒光光譜分析）。在通常的情況下，原子處于基態。 基態原子受到激發躍遷到 能量較高的 激發態。 激發態原子是不穩定的，平均壽命為10-10～10-8秒。隨后激發原子就要躍遷回到低能態或 基態，同時釋放出多余的 能量，如果以輻射的形式釋放 能量，該能量就是釋放光子的能量。因為原子核外電子能量是 量子化的，因此伴隨電子躍遷而釋放的光子能量就等于電子發生躍遷的兩能級的能量差 ，式中h為 普朗克常數；c為光速；ν和λ分別為 發射譜線的特征頻率和特征波長。
根據譜線的特征頻率和特征波長可以進行定性分析。常用的光譜定性分析方法有鐵光譜 比較法和標準試樣光譜比較法。
原子發射光譜的譜線強度I與試樣中被測組分的濃度c成正比。據此可以進行光譜 定量分析。光譜定量分析所依據的基本關系式是I=acb，式中b是自 吸收系數，α為 比例系數。為了補償因實驗條件波動而引起的譜線強度變化，通常用 分析線和內標線強度比對元素含量的關系來進行光譜定量分析，稱為 內標法。常用的定量分析方法是 標準曲線法和 標準加入法。
原子發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。在正常狀態下，原子處于基態，原子在受到熱(火焰)或電(電火花)激發時，由基態躍遷到激發態，返回到基態時，發射出特征光譜(線狀光譜)。
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