紫外準分子激光剝蝕系統是一種用于地球科學、環境科學技術及資源科學技術、考古學領域的激光器，于2007年12月13日啟用。
技術指標
激光器為ArF193nm紫外準分子激光器，單脈沖能量220mJ；最高重復頻率20Hz。經光學系統勻光和聚焦，能量密度可達50J/cm2，剝蝕坑直徑可設置為4、8、16、24、32、44、60、90和120μm。
主要功能
該儀器和多接收器等離子質譜儀、四極桿等離子質譜儀聯用，主要用于鋯石原位U-Pb定年以及礦物微區微量元素分析和Hf同位素同時測定；和四極桿等離子質譜儀聯用，主要用于固體微區微量元素原位分析和微區原位鋯石U-Pb定年。