儀器每3年應該清掃1次,以保證儀器的性能、減少儀器故障的發生。此項維護需要二人配合進行,將控制盒從儀器中取出,先用小刷子清掃儀器內部的灰塵,再讓吸塵器立即吸走。尤其是位于氘燈下面的冷卻風扇,積累的灰塵及污物較多,需要反復清掃。若沉積的灰塵中含有油污,則很難用小刷清潔干凈．此時可以用蘸有乙醇的脫脂棉擦凈 。
單色器內的清潔：擰下單色器頂部螺絲,打開單色器頂蓋。用干燥氮氣吹掃光柵及兩面凹面鏡。注意千萬不可用擦鏡紙擦光柵。如果發現單色器內凹面鏡很臟．用氮氣吹掃的方法都不能清潔干凈。則可用中性洗滌劑進行清洗．然后用去離子水沖洗。如凹面鏡上有大面積霉點出現．則只能更換新品。