石英管屬消耗品，在損壞或長時間使用后需進行更換、清理。
1）石英管的拆卸
①卸下高頻爐左上方的屏蔽面罩。
②下降氣缸，打開爐頭，取出坩堝托、坩堝座。
③逆時針旋松(由下往上看)石英管上方爐管壓帽半圈左右，使壓帽與密封“O”型圈松動，手握石英管向下即可從爐尾下方取出石英管。
2）石英管的清理。
3）石英管的安裝：按拆卸步驟逆向進行。
