純水儀的工藝流程與單元說明：
1）預處理配備過濾器、活性碳過濾器以及軟化樹脂去除水中大顆粒物質、余氯以及鈣離子鎂離子，預處理耗材的及時更換對超純機的長期穩定運行，保護核心部件相當重要。
2）反滲透是水分子通過半透膜到低濃度的一邊，反滲透可以濾除90%-99%的包括無機離子在內的絕大多數污染物。
3）離子交換離子交換水中的負離子與離子交換樹脂上的OH-離子交換，通過離子交換去除離子。
4）終端處理主要根據客戶的特殊要求生產出超低有機型、無菌型、無熱源型等的超純水。針對不同要求有多種處理方式，如超濾過濾法用于去除熱源，雙波長紫外氧化法用于降低水中總有機碳（TOC），微濾去除細菌等。